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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 对于X射线管等小型真空器件,其内部真空监测还缺乏可靠的方法.基于碳纳米管的气体吸附影响场电子发射的特性,我们开发了一种微型低压传感器,本工作是对该传感器的场发射性能、传感性能、重复性和应用性...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 地面电推进试验、星载Langmuir探针地面标定等航天任务,均对等离子体参数的校准提出了需求.目前,等离子体参数的校准主要是在稳定的等离子体环境中,通过被测仪器与标准进行量值比对的方式实现,...
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3. 多孔石墨烯渗氦仿真研究刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 多孔石墨烯膜具有渗透率易于调节、稳定性好等特点,可以实现可控纳米渗透元件来作为真空检漏中的标准漏孔材料.本文采用MD模拟进行单层多孔石墨烯渗氦仿真,得到不同方向、大小、形状多孔石墨烯渗氦参数...
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4. 真空测量技术及航天应用刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 简述常用工作用真空计、单片机在真空计中的应用、真空测量在航天应用、真空测量标准以及碳纳米管阴极在电离规中的应用.
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 结合硬件结构设计和网络通信、网站开发等技术,本文研究设计一套B/S模式的智能化螺杆空压机性能测试系统,包括硬件测试结构和云端软件系统的设计,以及关键技术的实现方法.本系统能自动采集测试数据,...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 针对我国目前螺杆真空泵产品同质化特征明显、与多样性的用户需求不相适应的现状,本文从螺杆真空泵设计的角度出发,分别就螺杆泵的整体结构布局、螺杆转子的螺旋展开方式、冷却系统与温度控制、密封形式等...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 为使真空泵的抽气能力能最大程度适应除气过程,在选用真空泵时需考虑到搅拌气体数量、设备表面放气和设备的漏气率.随着钢液真空处理技术的发展,能保证高效率、有效地脱除钢液中的气体成为迫切的问题.由...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 通过搭建HL-2M真空室整体预抽气系统,对真空室的设计、加工和安装工艺是否达到超高真空技术要求进行了试验检测.采用三套分子泵机组和一套低温泵机组作为主抽系统,对HL-2M真空室进行了预抽,7...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 建立了一套可对真空度进行调节的实验装置,从大气压开始逐渐降低系统压力,进行系列稀薄气体流动的PIV流场实验.系统压力从101kPa、90kPa逐次降至10kPa,使用所选粒子在不同系统压力下...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 为探究低温容器夹层所用分子筛吸附剂的吸附特性,采用静态膨胀法进行试验,获得了平衡压力为10-3Pa～103Pa范围内4A、5A和13X分子筛对N2、O2单一组分以及空气的吸附等温线,比较了不...
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11. 航天器防污染真空试验设备刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 提出一种专用型航天器防污染真空除气罐,即基于真空烘烤除气及黑体加热技术,实现污染物控制及复杂形状航天器高精度控温.通过试验及气相色谱质谱连用测试仪验证,该真空除气罐可有效控制试验过程中的污染...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 采用直流反应磁控溅射法,通过改变反应气体N2分压(5％、10％、20％、30％、40％、50％、60％),在SiO2/Si(111)基片上制备ZrN薄膜.利用XRD、SEM、EDS分析了薄膜...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 为了改善电弧离子镀薄膜表面存在的大颗粒污染问题,在真空室内附加一个与靶-基连线垂直的偏置电场,探究不同偏置电压对薄膜表面形貌、微观结构和力学性能的影响规律.结果表明,不同电压下TiN薄膜均呈...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 为了研究磁约束聚变装置支撑装置紧固件的螺母和螺栓表面防咬死涂层的均匀性,利用磁控溅射技术在管形器件的内表面和外表面制备了铜膜,应用台阶仪进行薄膜厚度测试.采用矩形铜板作为磁控溅射靶,采用单自...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 氧化锌薄膜材料由于具有高电导率、良好的光学透过率、原料储存丰富、成本低廉的特点,被认为是最具有潜力的透明导电薄膜.特别是其宽禁带(3.37eV)和高达60meV的激子束缚能,使其在环境温度制...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 本系统实现钽阳极块烧结过程所包含的预烧、本烧、冷却三个热工工艺以及节拍式进出料、辅机等部分的控制.其控制系统实现全自动控制功能,采用分布式结构化设计,系统开放、分层控制,集检测、控制、管理、...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 真空除油干燥法作为一种极具发展前景的新兴除油方式,比常规除油方法效率高且环保.文章针对空调散热器除油干燥系统的温度场进行研究,利用FLUENT模拟出真空干燥室合适的热源布局方式,以优化除油腔...
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18. 第二十一讲真空卷绕镀膜刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： (接2020年第6期86页) 2.2.1 原理 电阻加热蒸发镀膜原理如图3所示.将卷筒状的待镀薄膜基材装在真空蒸镀机的放卷辊上,薄膜穿过导向辊和镀膜冷鼓卷绕在收卷辊上.抽真空,使蒸镀室中...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年1期页码:摘要： 原定于2020年5月在德国召开的ISO/TC112/WG2(第二工作组,真空测量装置)会议,因受疫情影响, 2020年11月30日改为网络视频会模式成功召开.兰州空间技术物理研究所科技委主任...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 以氮化镓(GaN)为代表的第三代半导体材料,是我国重要战略发展方向之一,而氢化物气相外延(HVPE)作为一种重要材料生长技术,是有效制备单晶材料的工艺手段,本文提出了一种分层次递变流速下HV...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 随着5G、云计算、数据中心等概念的提出,对光纤技术不仅提出了量的需求,也要求光纤技术发展需满足新应用的需求.光纤装备技术是光纤技术的基石,其中采用等离子体装备技术可以实现多种大容量新型光纤技...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 采用电弧离子镀技术,通过改变调制比沉积Cr/TiN纳米多层膜.利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪研究了调制比对Cr/TiN纳米多层膜表面形貌、微观结构以及力学性能的影...
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23. 蒸发速率对ZnS薄膜性能的影响刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 为了研究蒸发速率对ZnS薄膜的折射率、表面形貌和应力等性能的影响,本文采用电子束蒸发技术进行了ZnS薄膜的制备.首先在K9玻璃基片上镀制薄膜,采用分光光度计进行透射率曲线的测试,利用光谱反演...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 本文主要介绍了制备四米槽式太阳能真空集热管的间歇式单体镀膜机和自动连续镀膜线,对两种类型设备的优缺点和存在的问题进行了对比分析,可以为其他行业镀膜设备的设计改进提供借鉴.
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刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 本文依据遗传算法的基本思想,立足光学薄膜领域,介绍了采用遗传算法进行光学薄膜设计优化的一种实现方法——包括"建立种群""建立适应度函数""选择""交叉""变异"和"精英保护"等方面的详细操作...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 本文首先分析了真空精密铸造炉在国内外的主流形式,并分析这些形式面对大型精密铸造时的不足.然后针对这些不足提出一种用于大型真空精密铸造炉结构布局及其衍生炉型.最后探讨了这种新的结构布局的发展机...
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27. 钢包真空脱气处理工艺及设备刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 随着炼钢技术的飞速发展,真空脱气处理技术成为减少钢中气体和非金属杂质的有效措施,其关键在于如何获得真空.本文以某厂利用蒸汽喷射泵的钢水炉外真空处理为例,介绍了真空系统的设备组成,阐述了真空泵...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 随着微电子封装向小型化、高密度化、高可靠性的方向发展,各行业对钎焊技术提出了高钎透率、高钎焊接头质量、材料具备高净化度等需求.高真空钎焊技术也随之日益普及、加速发展.该技术通过保障真空室的洁...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 真空精炼炉是一种用于生产高品质钢水的二次冶炼装置,其核心是机械真空泵系统.该系统能否长期稳定运行将直接影响到钢水冶炼效果和吨钢成本,因此对该系统进行在线监测和快速故障诊断尤为重要.本文以RH...
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30. 热压机喷射性能计算及探究刊名： 真空发表期刊： 2021年2期页码:摘要： 热压机技术作为电站灵活性改造的重要手段,其极限喷射能力的大小对电站改造方案的可行性评估意义重大.本文通过对热压机内部涉及的物理过程进行理论推导,建立了计算热压机可达最大喷射系数的理论模型.研...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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