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真空

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Vacuum

曾用名：真空技术报导

CA CSTPCD

影响因子 1.1128

本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

主办单位：

中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所

期刊荣誉：

中国期刊网、光盘国家工程中心用刊 工程技术类核心期刊

ISSN：

1002-0322

CN：

21-1174/TB

出版周期：

双月刊

邮编：

110042

地址：

辽宁省沈阳市万柳塘路2号

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热门刊内文献

年度刊次

1. 真空卷绕镀膜技术研究进展

作者：李建昌杨贻谋邵思佳

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 1-7

摘要：本文从系统结构、参数控制和镀膜方式等综述了真空卷绕镀膜技术研究进展.按结构可分为单室、双室和多室真空卷绕系统,后两者可解决开卷放气问题并分别控制卷绕和镀膜室各自真空度.卷绕张力控制分锥度、间...
2. 电弧离子镀TiN/Ti纳米多层膜的力学性能

作者：张臣王宇程芳陈泽昊黄美东

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 8-11

摘要：采用多弧离子镀技术,在不同沉积参数下合成具有纳米调制周期的TiN/Ti多层膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、XP-2台阶仪、XP型纳米压痕仪、X射线能谱仪(EDS)研...
3. 中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备类金刚石膜的结构与性能

作者：代海洋王俊玲

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 12-16

摘要：利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在载玻片上制备了类金刚石(DLC)薄膜,研究了沉积气压对薄膜厚度、微观结构、机械性能和光学性能的影响.厚度测试结果表明,DLC膜厚度随沉积气压的增加而增加.X射...
4. (TiZr)N硬质膜的沉积工艺研究

作者：刘冬玲张钧明悦

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 17-20

摘要：本文主要研究(TiZr)N硬质膜的沉积工艺波动范围及影响.考察了阴极靶电流、N2气流量等工艺参数对膜层组织和性能的影响.研究表明,沉积工艺参数的波动变化不会对膜层组织、力学性能产生明显影响....
5. 蒸汽喷射器数值模拟研究进展

作者：华枫廖国进

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 21-25

摘要：本文对蒸汽喷射器的数值模拟研究进行了综述.通过对其发展历程的分析总结,对蒸汽喷射器内复杂流场有了较为清晰的认识.对模拟分析过程中凝结、蒸汽热力学物性、模拟模型等问题的影响及处理方法进行了分析...
6. 螺杆真空泵技术领域的专利分析

作者：张世伟张志军赵凡韩进

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 26-31

摘要：利用德温特创新索引数据库和专利信息服务平台,针对国际和国内两个市场,采集了2015年之前的专利数据信息,重点分析了螺杆真空泵行业的年度发展态势、主要专利权人、主要发明人、行业研发热点等方面,...
7. 一种双螺杆真空泵转子的接触线及动平衡特性研究

作者：干蜀毅施毅李琦汪祚远董中林

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 32-36

摘要：对一种双螺杆真空泵普遍使用的,由长幅外摆线和渐开线组成的端面型线转子进行了研究,推导出转子接触线方程的一般求法,同时给出利用MATLAB表现空间接触线的新式方法;分析各段接触线的组成,给出了...
8. 液力传动型滑阀真空泵性能研究

作者：周君斐王贵罗根松许涛郑慧萍

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 37-41

摘要：本文论述了液力传动的基本概念,对滑阀真空泵使用V型带传动所存在的问题进行了分析,阐明了将液力传动应用在滑阀真空泵上以后,既可以充分利用电机的最大扭矩启动的特点,来改善泵的启动性能,尤其是低温...
9. 水环泵吸排气孔的位置对泵性能的影响

作者：李娟李峰陈阳

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 42-45

摘要：本文通过技改项目,理论上阐述了水环泵临界压缩比的概念及其对泵性能的影响,分析了水环泵吸排气孔面积及开口位置与压缩比值的关系.当泵的运行工况超过临界压缩比后,如何通过修改内部结构将泵气流损失降...
10. 基于材料放气特性的杜瓦真空失效时间研究

作者：刘湘云张亚平徐世春徐冬梅朱颖峰聂喜亮赵维艳

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 46-50

摘要：杜瓦真空失效的两类模式是漏气和材料放气.漏气是导致杜瓦真空早期失效的主要原因,可通过工艺控制手段解决真空短命问题,材料放气是制约长寿命杜瓦真空寿命的根本原因.杜瓦放气特性是进行杜瓦真空失效时...
11. 实验低温冷板抽气装置性能测试及分析

作者：张天爵张素平李振国潘高峰秦久昌邢建升

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 51-54

摘要：本文详细介绍了放置在100 MeV强流紧凑型回旋加速器主磁铁谷区的实验低温冷板抽气装置的设计,并加工了实验低温冷板性能测试罩,对实验低温冷板内置及外置情况下的抽气参数如抽速、极限压力、抽气容...
12. 中频真空感应钎焊炉控制系统的设计

作者：吴爱荣

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 55-57

摘要：本文介绍了中频真空感应钎焊炉以PLC为系统控制核心,辅助工业用计算机及触摸屏为人机界面,梯形图为编程语言,LabVIEW图形化组态软件;详述了控制系统的设计、难点及解决方法;依据控制系统工艺...
13. 连续式真空炉传动系统到位开关的几种型式

作者：张海南李忠仁苏宁邢旺

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 58-61

摘要：为了提高产能和节约能源,在工业生产时要用到连续式真空炉.由于工件一直处于炉内,因此工件的转移和到位均需要使用传感器(到位开关)进行控制.本文以双室真空油淬炉为连续式真空炉的代表性炉型进行分析...
14. 中频倍压整流在小型直流高压电源中的应用

作者：但敏冷利军蒲世豪陈常

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 62-65

摘要：直流高压电源作为离子注入机的重要组成部分,其控制方式、工作频率、拓扑结构等的差异,都会对注入机系统运行效率和稳定性产生巨大的影响.离子注入机系统使用直流高压电源为离子加速系统提供能量,加速电...
15. 真空检漏技术在自耗电弧炉维修中的应用

作者：姬向锋

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 66-68

摘要：本文结合真空检漏的概念及意义,根据真空自耗电弧炉真空系统的特点,详细讲述了真空检漏的原理及其注意事项,通过实际生产过程中实际的检漏过程总结出了检漏仪应用过程中的注意事项,对今后实际生产具有重...
16. 真空漏率校准装置的研制和应用

作者：刘兴胜解永蓉费渭南陈旭

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 69-72

摘要：真空漏率校准装置可以对(105～10-4)Pa范围内的各种真空计和(10-7～10-9)Pa·m3/s的真空漏孔进行校准.该装置的特点是结构简单、量程宽、易操作和工作效率高.
17. 紫外固化浇铸法制作PUA蛾眼结构

作者：桑艾霞王旭迪魏本猛

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 73-76

摘要：本文采用聚氨酯丙烯酸酯(PUA)通过紫外固化浇铸复制多孔氧化铝(AAO)模板制作蛾眼微结构.PUA低粘度和低表面能特性保证了高深宽比柱状阵列结构的精确复制.测量制备的蛾眼结构与水的接触角大于...
18. 第十九讲真空溅射镀膜

作者：张以忱

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 77-80

摘要：
19. 2015年全国真空标委会年会暨真空标准审查会在温岭顺利召开

作者：全国真空技术标准化技术委员会

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 82

摘要：
20. 信息动态

作者：

刊名：真空

发表期刊： 2016年1期

页码: 83-86

摘要：
21. 微孔金属薄膜结构变化及阻尼性能研究

作者：姜文全巴德纯杜广煜杨帆

刊名：真空

发表期刊： 2016年2期

页码: 1-3

摘要：研究了微孔金属薄膜的微观变化和阻尼性能,采用扫描电镜(SEM)原位观察实验方法对带孔金属薄膜微观结构和阻尼进行分析.分析得到:交变载荷拉伸加载过程中微纳米孔缺陷试件经历了微裂纹萌生、微裂纹扩...
22. 涂层厚度对涂层热力性能的影响

作者：张东庆张泽东柯超王国栋陈宗武陈长琦

刊名：真空

发表期刊： 2016年2期

页码: 4-8

摘要：涂层的厚度是涂层设计的重要参数,对涂层的热力性能有很大的影响.本文基于ANSYS有限元分析方法模拟不同厚度涂层的热力性能,确定涂层最佳厚度范围,为涂层厚度的设计提供一定理论依据.文中选用哈氏...
23. 氧等离子体辅助原子层沉积氧化铝的研究

作者：方明杨丽珍桑立军陈强

刊名：真空

发表期刊： 2016年2期

页码: 9-12

摘要：本文研究氧等离子体辅助原子层沉积氧化铝中各个沉积参数对薄膜性能和结构的影响.在氧等离子体辅助原子层沉积氧化铝的过程中,通过改变基底温度、等离子体放电时间、等离子体放电功率、单体三甲基铝冲洗时...
24. 单晶高温合金钴铝涂层的高温腐蚀行为研究

作者：何利民戴建伟牟仁德王占考黄光宏

刊名：真空

发表期刊： 2016年2期

页码: 13-17

摘要：采用化学气相沉积(CVD)方法在单晶高温合金基体上制备了钴铝(Co-Al)涂层,研究了900℃下涂层的高温热腐蚀行为.采用X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)等...
25. 金刚石涂层刀具研究进展与前景

作者：刘鲁生姜亚南田清泉陈晓东

刊名：真空

发表期刊： 2016年2期

页码: 18-20

摘要：根据国内刀具涂层市场现状,论述了金刚石涂层刀具的特点,提出化学气相沉积金刚石涂层技术发展方向.
26. 脉冲偏压磁过滤电弧离子沉积(Ti,Al)N薄膜的研究

作者：张春宇王宇范喜迎邬岩金瑞黄美东

刊名：真空

发表期刊： 2016年2期

页码: 21-24

摘要：利用脉冲偏压磁过滤电弧离子沉积技术在不同负偏压下制备了(Ti,Al)N薄膜,通过扫描电子显微镜、XP-2台阶仪、纳米压痕仪和X射线衍射仪分别测试分析了脉冲偏压与磁过滤共同的作用对薄膜的微观结...
27. C60与rubrene混合薄膜的光学性质

作者：孔乐崔敏张紫佳杨倩倩邓金祥陈亮高红丽

刊名：真空

发表期刊： 2016年2期

页码: 25-28

摘要：本文采用高真空热蒸镀法于衬底温度70℃下在玻璃基片上制备C60和rubrene混合薄膜.将两种材料的粉末置于不同的坩埚中共同蒸发,通过控制坩埚的加热温度来控制混合的比例,达到了制备混合薄膜的...
28. 热喷涂层残余应力影响因素的研究

作者：张佳平王贺权芦国强袁福河赵士琦

刊名：真空

发表期刊： 2016年2期

页码: 29-32

摘要：采用盲孔法测量了NiCrFeMo涂层的残余应力,得出NiCrFeMo涂层的残余应力分布规律,并且从涂层的厚度与到边缘的距离两方面分析影响残余应力的因素.发现NiCrFeMo涂层的残余应力主要...
29. 贫铀表面Ar气脉冲辉光放电清洗

作者：刘清和王庆富肖红陈林龙重

刊名：真空

发表期刊： 2016年2期

页码: 33-36

摘要：贫铀极易氧化,为了提高其表面薄膜的结合性能,薄膜沉积前铀表面的辉光放电清洗是极为重要的.利用计算机模拟对Ar气脉冲辉光放电等离子体特性进行了研究,采用俄歇电子能谱仪(AES)对辉光放电清洗后...
30. 铸造高温合金真空感应熔炼过程的研究

作者：于昂刘佳孟宇庞双军李超李雪峰颜国卿高国华

刊名：真空

发表期刊： 2016年2期

页码: 37-41

摘要：本文主要介绍铸造高温合金真空感应熔炼工艺的基本原理和过程.利用实验证明了熔炼过程中精炼期、合金化期、浇注期对铸造高温合金材料纯净度、显微组织、力学性能及表面质量等方面所产生的影响.实验证明:...

真空基本信息

刊名	真空	主编	陆国柱
曾用名	真空技术报导
主办单位	中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所	主管单位	机械工业部期刊管理办公室中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期	双月刊	语种	chi
ISSN	1002-0322	CN	21-1174/TB
邮编	110042	电子邮箱	zkzk@chinajournal.net.cn
电话	024-24134406	网址	www.vacjour.cm
地址	辽宁省沈阳市万柳塘路2号