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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 针对罗茨泵真空机组在启动预抽阶段的三种工作模式——旁通式、直通式和变频式,分别建立了简化计算模型,推导得出罗茨泵进入正常稳态工作之前罗茨机组的有效抽速计算公式,以及被抽容器的抽气时间计算方法...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 亚音速真空管道磁浮系统内部流场复杂,研究管道断面外形对气动效应的影响至关重要.基于计算流体力学,考虑流体粘性与列车悬浮间隙建立了三维亚音速真空管道列车空气动力学模型,数值模拟并对比分析了四种...
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3. 卫星柔性贮存方法刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 针对卫星在厂房内不进行土建改造且具备随时解封与重密封能力,并且实现环境受控的贮存条件要求,文章提出一种基于柔性贮存方式的解决方案,针对贮存要求与相关标准,设计出一套柔性贮存系统,主要包含可变...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 为了避免金属材料因为氢扩散而导致的失效,通常在其表面制备氧化物或氮化物等的阻氢薄膜,而薄膜的微观组织、晶体结构等对其阻氢性能的影响显著.本文在不锈钢基体上制备出CrN阻氢薄膜,系统研究了高/...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 为了得到最优发光的薄膜材料成分参数,采用均匀设计和二次通用旋转组合设计相结合的方法建立发光强度与薄膜中氧含量和Ce3+离子掺杂浓度的回归方程,并用遗传算法求其取最大值时的解.用中频反应磁控溅...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 通过磁控溅射氧化锌陶瓷靶材的方法在玻璃基片上制备ZnO薄膜,研究了溅射功率、溅射气压以及基片温度对ZnO薄膜相结构、禁带宽度及光学性能的影响.使用X射线衍射仪(XRD)分析了薄膜相结构,使用...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 氧化镓(Ga2O3)是一种宽禁带的半导体材料,超大的禁带宽度(4.9eV)、较高击穿电场强度和高热稳定性,使其成为一种很有应用前景的材料.本文以p型硅纳线阵列(p-SiNWs)为衬底,使用磁...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 金刚石涂层刀具具有优异的硬度、耐磨性及导热性,在军事、航空航天等高精尖应用领域加工石墨、高硅铝合金、碳纤维增强塑料等难切削材料时无可替代,但目前金刚石涂层刀具存在两个问题:一是涂层与刀具间膜...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 介绍了一种基于碳纳米管场发射的新型微焦点电子源技术.利用激光烧蚀镍金属表面使内部未氧化的镍金属熔化喷出暴露于基底表面,再通过化学气相沉积制备出直径约为350μm的半球壳型碳纳米管薄膜阴极.场...
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10. 浸渍阴极的真空预处理技术刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 本文总结了用于真空微波电子器件的浸渍阴极的蒸发规律,通过分析提出了浸渍阴极预处理工艺,建立了超高真空装置.在超高真空环境下,将浸渍阴极灯丝加热,使阴极温度升高到1100～1200℃,保持1～...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 为实现真空试验设备真空和温度参数的自动化检测,本文通过研制真空试验设备计量系统,采用在真空试验设备内部布置高精度铂电阻温度计,同时在设备真空接口处布置高精度全量程真空计实现数据准确测量,上位...
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12. 超低温温区热连接方式试验研究刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 为验证超低温温区不同热连接方式对深冷辐射源的降温影响程度,搭建了超低温温区真空热试验系统,对三种型式的热连接件的超低温导热特性进行了试验.结果表明:40K以下高纯铜与铝呈现出极好的超低温导热...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 本文结合复合镀膜设备及镀膜工艺特点,详细分析了复合镀膜设备镀膜工艺流程以及过程中容易产生能耗和污染的问题.并在此基础上,根据设备真空系统、工装和水冷系统、控制系统以及设备各个源的协同作用进行...
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14. 新式布局的真空等轴晶精密铸造炉刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 本文论述了一种新式布局的真空等轴晶精密铸造炉,该设备是为了替代传统立式等轴晶精密铸造炉,用于生产薄壁、大尺寸铸件及低温浇铸件等.它采用了卧式布局、内置模壳加热器、同轴水冷电缆、线圈平移机构等...
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15. 电子束增材制造设备及应用进展刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： 电子束增材制造是增材制造技术的主要方向之一,它在真空中进行,具有能量利用率高、零件残余应力低等优势,在航空航天、医疗领域获得较为广泛的应用.介绍了两种电子束增材制造方法——电子束选区熔化和电...
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16. 第二十一讲真空卷绕镀膜刊名： 真空发表期刊： 2022年1期页码:摘要： (接2021年第6期88页) 3.4 中频磁控卷绕镀膜 中频磁控卷绕镀膜是利用中频磁控溅射技术来实现卷绕镀膜的方法.中频交流磁控溅射通常采用两个尺寸大小和外形相同的靶并排布置或相对摆放,...
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17. 约瑟夫森结工艺系统刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 超导电子学和超导量子信息等领域的核心元器件是约瑟夫森结,这是一种超导体/介质层/超导体三层结构的非线性器件.超导量子比特常用铝/氧化铝/铝结构的结,在量子芯片上制备这种约瑟夫森结,需要在衬底...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 采用等离子体处理技术对不同作用距离下的石英纤维/氰酸酯复合材料表面进行活化处理,考察了等离子体处理工艺参数对复合材料表面接触角的影响,以及等离子体处理前后表面形貌、性能和膜基结合强度的变化规...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 在对一种小型触发型真空弧离子源的研究过程中发现,稳定的触发过程对真空弧离子源的主弧形成以及后续离子引出过程是至关重要的.传统触发结构为简单的触发极、绝缘体和阴极堆叠而成的"三明治"结构,触发...
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20. 高精度梯度控温系统应用研究刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 为满足某型号航天产品热真空试验中梯度控温需求,设计了一套高精度梯度控温系统.系统由热沉、加热器及配套的控温系统等组成,可实现载荷等产品梯度控温需求,控温精度可达±0.2℃.本文介绍了该系统控...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 本文针对印刷板式换热器的结构特点和密封性要求,通过检漏方法选择、漏率指标设定和漏率计算完成了印刷板式换热器检漏方案的制定.根据制定的检漏方案,完成了印刷板式换热器实际产品的氦质谱检漏工作,实...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 在德国卡尔斯鲁厄理工学院提出的 KALPUREX(Karlsruhe liquid metal based pumping process for fusion reactor exhaus...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 空间快速减压过程研究及其效应评估和应对防护技术是未来实现临近空间探索、深空探测等重大国家探索工程所必须面临的难题.面向快速减压环境地面模拟装置的研究需求,为了更真实更准确地分析减压过程气体流...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 喷射循环热风加热干燥技术是用压缩空气喷射驱动替代传统风机的扰动,实现热风循环对流换热、加热变压器的真空干燥技术.该技术克服了传统热风循环和变压法干燥技术的缺陷,从物理原理上提高了变压器热风循...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备,凭借其自身的特点与优势,已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中.近年来,中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展,作为重要零部件的低温泵需求...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 为提高铜合金表面硬质薄膜的抗冲击性能,在KK3铜合金表面制备了不同厚度Cr/CrN粘结层的铬掺杂类金刚石(Cr-DLC)碳基薄膜,采用扫描电镜、拉曼光谱仪、纳米压痕仪和连续冲击试验机分别分析...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 半球谐振子金属化镀膜是半球谐振陀螺制造的重要工艺环节.镀膜过程所产生的薄膜残余应力对谐振子Q值有较大影响,决定着半球谐振陀螺零偏稳定性等最终性能.本文采用X射线衍射法测量薄膜残余应力,研究了...
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28. 一种真空电子束熔炼炉循环进料系统刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 针对现有电子束熔炼炉的整料进料机构容量较小、功能单一、无法满足不同尺寸规格的原料组合、作业效率低等问题,研制了一种基于链传动方式的循环进料系统,该系统主要通过链条与料架相连,实现原料的立体循...
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29. 一种用于真空电弧熔炼的稳弧电源刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 本文介绍了一种新型的稳弧电源实现方案,不但对理论基础、主电路拓扑、DSP(Digital Signal Processing)和CPLD(Complex Programmable Logic...
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30. 喷雾冷冻干燥技术与设备发展现状刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 喷雾冷冻干燥技术近几年发展较快,在食品、医药、材料等领域都有广泛的应用,但是相应的喷雾冷冻干燥设备却发展较慢,在一定程度上限制了喷雾冷冻干燥技术的发展.本文首先介绍了喷雾冷冻干燥技术的原理与...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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