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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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1. 新型纳米功能材料刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 讨论了纳米材料复合薄膜的结构和特性,涉及到与力学、防护、电池等特性有关的结构,重点分析了电学、光学、光电特性,如新型纳米线复合光电池,氧化锌(ZnO)纳米棒阵列的结构和荧光发射,以及金属纳米...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 沉积速率是磁控溅射镀膜技术中的一项重要指标,它由许多因素决定.为了定性地了解沉积速率与工作气压之间的关系,通过实验测定了不同工作气压下的沉积速率,发现存在一个最大值,并对应有一个最佳工作气压...
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3. 氮在离子氮碳共渗中的作用刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 研究了在离子氮碳共渗过程中氮对化合物层厚度的影响,同时对化合物层的微观组织结构和显微硬度进行了分析.结果表明:在离子氮碳共渗过程中,气氛中低氮势不利于ε相的生成,且渗层的显微硬度较低;高氮势...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 介绍了几种碳基材料的场发射特性及其发射模型.金刚石表面具有较低的或负的电子亲和势,因无法实现N型掺杂,难以用作电子发射材料.类金刚石膜及非晶碳膜材料经过"激活"后在表面形成具有较大场增强因子...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 以CF4和CH4为源气体,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了不同工艺条件下的氟化非晶碳(a-C∶F)薄膜.发现薄膜的沉积速率和射频功率几乎成正比关系,薄膜中氟的存在是导致薄膜...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 综述了国内外测量尘埃等离子体中尘埃颗粒所带平衡电荷量的实验方法.在文章的前一部分,重点介绍了几种间接测量方法,在文章的后一部分,给出了我们初步的实验结果.实验中,我们根据尘埃颗粒在鞘层中平衡...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 使用原子力显微镜(AFM)中的侧向力(LFM)模式对类金刚石膜纳米尺度的摩擦现象进行了研究,主要考察了载荷、微观形貌、粘附对类金刚石膜纳米摩擦性能的影响.首先结合粘附的影响提出了适用于外加载...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 为了给中国联合球形托卡马克装置(SUNIST)的充气系统选择合适的压电阀,我们对国产NS型压电阀和美国的VEECO压电阀进行了送气率和脉冲送气特性的测试.实验表明二者都具有优秀的脉冲响应重复...
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10. 微型离子泵抽速测量方法的探讨刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 探讨了用定容法测量微型离子泵抽速的装置及程序.并给出了抽速测量不确定度的简化评估.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 就真空镀膜设备中应用磁流体密封技术的若干问题进行了探讨.
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12. 去除真空铝钎焊炉内油污的简便方法刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 介绍一种去除真空铝钎焊炉内油污的简便方法.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 针对宝钢2RH拉瓦尔喷嘴腐蚀失效,分析了喷嘴的化学成分和金相组织,以及CO2对喷嘴的腐蚀机理,分析结果表明,喷嘴的选材不当和真空系统的废气腐蚀冲刷是主要原因,根据工况条件选用了新的材料并采取...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要：
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16. 一种真空热解废电缆回收装置刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 本装置采用真空加热裂解塑料外皮并配以对热解气体进行化学处理的方法来回收废电缆金属.本装置具有处理废电缆回收金属经济、干净,无废气、废水、废渣排放,对环境无二次污染.装置结构简单易操作,占地面...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 采用优质加氢处理的润滑油基础油生产真空泵油,改进油品性能;并从理论上分析化学组成对油品性能的影响.
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18. 油扩散泵的维修刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要： 本文为<实用真空技术>一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值.
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19. 第十三讲:真空系统的检测技术刊名： 真空发表期刊： 2004年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： 首先介绍了铜铟镓硒薄膜太阳能电池结构、性能特点以及目前在研究和生产过程中电池的制备方法和工艺;着重阐述了工业发达国家以及相应大公司在铜铟镓硒薄膜太阳能电池方面最新进展以及发展趋势,特别介绍了...
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21. 等离子体技术在碳氮膜制备中的应用刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： β-C3N4是Cohen等人从理论上预言的一种可能比金刚石更硬的物质,含有β-C3N4的碳氮膜具有优异的电学、光学和机械特性,在很多领域有应用前景.人们已经应用多种方法进行碳氮膜的制备.本文...
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22. 涡轮分子泵参数化设计软件刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： 对几种参数化设计方法进行了比较,根据涡轮分子泵的结构特点,开发了简便实用的涡轮分子泵参数化设计软件.该软件具有智能设计、自主设计、三维造型、动态模拟等功能,对产品开发、泵性能优化等具有实际意...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： 介绍了水蒸汽喷射式真空泵CAD/CAPP集成系统总体结构,论述了尺寸设计CAD模块、CAPP模块和数据管理模块的主要功能,实现了从设计到制造工艺的全过程自动化.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： 采用低电压反应离子镀工艺制备NiO电致变色薄膜,重点研究不同的氧气分压对NiO薄膜的电致变色特性的影响,通过与普通电子束蒸发工艺制备的NiO薄膜进行物理性能和电致变色性能的比较,以及在塑料基...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： 从理论上分析了平面磁控溅射靶沉积薄膜的厚度均匀性.根据磁控溅射阴极靶刻蚀的实际测量数据,建立了靶的刻蚀速率方程,以此为依据,对膜厚均匀性的有关公式进行了讨论.采用计算机计算了基片处于不同靶-...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： 微波介质器件的薄膜化已经成为微波器件的一个研究热点,本文从微波介质陶瓷薄膜化角度在不同低介电常数的介质衬底上溅射制备了MCT陶瓷薄膜,实验结果表明:(110)晶面的单晶SiO2片上的可以在较...
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27. 两种真空干燥方法的效果比较刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： 在既可用于冷冻干燥又可供临界低温干燥操作的真空干燥机中,采用这两种真空干燥工艺对几种干制食品的加工进行了对比性的实验研究.对比的内容为产品中极易损失的热敏性成分含量,产品的色泽和复水性以及加...
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28. 恒压式气体微流量计测控系统的设计刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： 介绍了恒压式气体微流量计的测量原理及其测控系统的设计方案,对压力测量、变容室气体温度测量、变容室体积变化率测量、恒压控制等关键技术进行了详细说明。该测控系统的应用可以使气体微流量计的测量范围...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： 阐述了罗茨泵安装油泵的必要性,介绍了圆弧-泛摆线齿轮油泵的工作原理、特点、计算方法及安装结构.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年2期页码:摘要： X-Y扫描控制系统在光电平板显示器中将光电子源点阵化,并能控制通过孔道电子束的强弱,是一种全新的图像输入方式.我们使用光敏微晶玻璃研制了X-Y扫描控制板和X-Y电极并对其控制特性进行了测量.
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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