真空期刊
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真空

Vacuum
曾用名: 真空技术报导

CACSTPCD

影响因子 1.1128
本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来,由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会,并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增,在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来,被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉:
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊  工程技术类核心期刊 
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
出版周期:
双月刊
邮编:
110042
地址:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
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  • 作者: 史纪军 孙立臣 孟冬辉 李明利 赵月帅 邵容平
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  1-6
    摘要: 空间环境模拟器主要用来完成航天器地面真空、热试验,一般真空室体积大、内部结构复杂,容器真空度高、产品放气量大、要求清洁真空避免油污染.因此,国内外环模设备高真空系统一般采用抽速大、极限真空高...
  • 作者: 张志军 徐成海 谢元华 韩进
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  7-11
    摘要: 本文综述真空输送技术的原理、特点,真空输送技术与设备的应用现状,分析、探讨真空输送技术将来的发展趋势、前景.希望对真空行业的发展有所帮助.
  • 作者: 王莉
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  12-14
    摘要: 本文介绍了高真空油扩散泵一种新型的冷却水管与泵壁异种金属焊接工艺,通过焊接材料和焊接方法对比,并进行了大量试验验证,得出了此焊接工艺工作效率高,导热效果良好,并且消除了高真空扩散泵冷却水管易...
  • 作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  14,34,39,55,60,67
    摘要:
  • 作者: 孟庆远
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  15-17
    摘要: 圆盘式真空管封口机﹙以下简称封口机﹚是太阳能真空管加工的主要工具之一,封口机的维修、维护保养、故障检查与排除分析的方法十分重要,是保证封口机正常运转的重要途径.封口机所具有的优势明显,在太阳...
  • 作者: 张剑刚 毕新刚 窦志勇
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  18-21
    摘要: 针对低温、真空的工况特点,本文对吸附床矩形法兰进行了初步设计.分别采用当量圆法和有限元法,对矩形法兰强度进行了校核,并对两种计算方法进行了比较.计算结果表明:采用当量圆法与有限元法相结合的方...
  • 作者: 于红燕 王金库 王金锁 管地
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  22-24
    摘要: 本文介绍了基于氦质谱检漏仪的比较法标准漏孔校准装置和标准漏孔校准方法的研究.该装置实现了标准漏孔的全自动校准.装置通过软件控制气动阀门的动作、数据的自动采集、计算和记录,并最终输出原始记录....
  • 作者: 刘吴月 孙日明 王逊 袁明论
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  25-29
    摘要: 压力测量技术是试验空气动力学的一项重要研究课题.由于压力传感器技术的限制,在风洞试验中难以精确测量微小压力值.本文基于石英真空计自主研发了一套微压测量系统,并研究了细长管路对测压系统的影响....
  • 作者: 孙坤 张世伟 赵凡 韩峰
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  30-34
    摘要: 为验证前文提出的称重法滴管式气体流量测量装置与方法的原理正确性和实验可行性,将一台实验教学用的扩散泵抽速测量装置改建为称重法滴管式气体流量测量试验台;采用称重法完成了一台K-200扩散泵的抽...
  • 作者: 姜亚南 李民久 熊涛 贺岩斌 陈庆川
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  35-39
    摘要: 中频磁控溅射镀膜具有成膜均匀,膜重复性好,靶材不易中毒等诸多优点,适用于大规模生产,因此应用广泛.中频磁控溅射技术在电源的设计和应用方面非常重要,目前较为成熟的是正弦波和脉冲方波两种输出方式...
  • 作者: 孙小菁 张兴民 李兴达 田立成 赵成仁 郭伟龙
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  40-45
    摘要: 离子电推进具有高比冲、长寿命、多工作点可调的优势,能够很好的适用于小行星探测器巡航阶段主推进任务,可以大幅提升探测器的有效载荷比和空间进入能力.通过调研国外电推进在深空探测任务中的应用情况,...
  • 作者: 尚心德 眭凌杰
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  46-51
    摘要: 本文介绍了彩色装饰性涂层的膜系设计原理及制备方法,重点描述了连续真空镀膜在金属卷材上的彩色涂层制备.该涂层用于建筑物室内和室外装饰应用,具有良好的均匀度和耐候性,为真空镀膜技术在装饰应用领域...
  • 作者: 张鹏宇 黄美东
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  52-55
    摘要: 本文采用超高真空射频磁控溅射法,通过改变沉积气压、沉积时间以及进行退火处理在普通白玻基底上制备VO2薄膜.利用XD-3型X射线衍射仪对薄膜的物相进行分析,UV-3600多功能分光光度计测试薄...
  • 作者: 卢文文 武学涛 马小弟
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  56-60
    摘要: 借鉴热传导和分子动力学领域里的相关知识,对铜铟硒薄膜太阳能电池沉积过程中入射硒离子束在表面的能量沉积热效应进行了研究,建立了一维传热模型,在此基础上,给出一维热传导模型的计算方程组,并用AN...
  • 作者: 何峰 周武 杜彬 汪晓江 王福清
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  61-64
    摘要: 本文简略介绍了钛及钛合金材料的特点及其熔炼的方式.介绍了电子束冷床熔炼炉的原理.分析了电子枪所发射的电子束能量的分配及熔炼炉工作真空范围.电子束冷床熔炼炉真空系统的配置和选型原则.并以某公司...
  • 作者: 刘颂辉 朱惠冲 王贤友 葛春桥
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  65-67
    摘要: 通过扫描电镜SEM与EDS等分析工具研究氧化铝陶瓷表面三次金属化的烧结工艺.结果表明,陶瓷表面三次金属化的烧结温度与烧结气氛对钎料层的结合状况与表面形貌产生重要的影响.820℃与干氢的烧结工...
  • 作者: 张以忱
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  68-72
    摘要:
  • 作者: 庞甜甜 张东庆 王国栋 陈宗武 陈长琦
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  1-4
    摘要: 以硅片为基体,采用直流磁控溅射镀膜方法,制备了不同厚度的耐腐蚀的哈氏合金薄膜.采用SEM、XPS、显微硬度等方法,研究了室温条件下,不同溅射功率的哈氏合金薄膜的表面形貌、化学组成、膜厚以及硬...
  • 作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  4
    摘要:
  • 作者: 余云鹏 冯朗丹 庄素娜 林晓琪 梁家伟 毕焰枫 王江涌 韩逸山
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  5-9
    摘要: 随着射频辉光放电光谱仪在镀层和薄膜深度剖析中的应用逐渐深入,人们对其工作原理、设置参数对测试的影响也越来越关注.本文通过在不同气体工作压强和溅射功率下,对镍/银双层膜样品进行了辉光放电深度剖...
  • 作者: 吕少波 姜超 李明华 王瑞生 穆佳丽 胡雯雯 赵帅锋
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  10-13
    摘要: 以Nb2O5和SiO2为光学镀膜材料设计了可见光区双通带BP561nm&BP687nm超多层膜系干涉滤光片.采用直接光控和速率控制混合的膜厚监控方案,制造工艺采用OMS Simulator设...
  • 作者: 代强 刘静 孟政 汪洪
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  14-18
    摘要: 本文采用直流反应磁控溅射法,在不同氧气分压条件下制备了钛掺杂氧化钨薄膜,结合X射线衍射分析(XRD)、拉曼光谱(Raman)分析、扫描电子显微镜(SEM)表面形貌分析、电化学测试和太阳光波段...
  • 作者: 孙国威 张川 李云珂 陈泽昊 黄美东
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  19-22
    摘要: 以基底与溅射碳靶之间的距离(靶基距)为变量参数,采用杂化离子镀技术在高速钢、硅片以及不锈钢片表面制备TiCN薄膜.用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、维氏硬度计、XP-2台阶仪分别对薄膜的物相结...
  • 作者: 李国浩 杜广煜 杨林林 马瑾
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  23-25
    摘要: 目前国内太阳能光热技术行业急需具有外语交流能力的专业技术人员,本文分析了太阳能光热技术专业外语教学的现状和存在的问题,提出了相应的改革措施,以培养出掌握听、说、读、写、译等综合技能的现代型人...
  • 作者: 马安博
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  26-29
    摘要: 高功率脉冲磁控溅射技术(HIPIMS)是最新发展起来并受到广泛关注的一种高离化率物理气相沉积技术.本文首先从高功率脉冲磁控溅射技术原理与特点出发,然后简单介绍了高功率脉冲磁控溅射技术发展过程...
  • 作者: 王昆仑 辛艳青
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  30-33
    摘要: 室温下,利用脉冲偏压辅助射频磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了铟锡氧化物(ITO)薄膜.研究了当占空比为20%时,脉冲偏压大小对薄膜结构、形貌、光电特性的影响.实验结果表明:当偏压为40V时,...
  • 作者: 张志军 徐成海 谢元华 韩进
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  34-38
    摘要: 本文综述真空输送技术的原理、特点,真空输送技术与设备的应用现状,分析、探讨真空输送技术将来的发展趋势、前景.希望对真空行业的发展有所帮助.
  • 作者: 王国庆
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  39-41
    摘要: 对蒸馏过程的真空系统配置进行改造:将原配置的过细过长连接处过多的CS管路改为少连接多焊接及短而粗的SS管路,减少泄漏与防铁锈堵塞真空系统及压力反串时对产品的污染;对过滤器予以改进,以增强过滤...
  • 作者: 刘旸 刘欣宁 吴会营
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  42-44
    摘要: 多年来,在真空镀膜生产中,镀膜后工件表面污点的出现,造成废品率偏大的问题,一直是困扰该行业的一大难题.分析可能产生此问题各种原因,提出解决此问题的思路和方案,对真空室抽气系统结构进行优化设计...
  • 作者: 刘恩均 孙立志 孙立臣 张海峰 汪力
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  45-48
    摘要: 在研制中的空间站上,使用了一种高温截止阀,需要进行250℃条件下的氦质谱检漏,测试阀门内部处于正压、真空两种工况下的总漏率.该高温截止阀为满足空间站特殊使用要求,对检漏提出了严格要求,测试设...

真空基本信息

刊名 真空 主编 陆国柱
曾用名 真空技术报导
主办单位 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所  主管单位 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1002-0322 CN 21-1174/TB
邮编 110042 电子邮箱 zkzk@chinajournal.net.cn
电话 024-24134406 网址 www.vacjour.cm
地址 辽宁省沈阳市万柳塘路2号

真空评价信息

期刊荣誉
1. 中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
2. 工程技术类核心期刊

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