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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 利用电弧离子镀技术在高速钢基体上于不同氮气流量条件下制备CrN薄膜样品,通过纳米压痕仪、XP-2台阶仪、SEM和XRD测试分析了薄膜的硬度、弹性模量、厚度、表面形貌和物相结构.实验结果表明,...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜.利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究.结果表明...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 本文借助Comsol和Matlab软件模拟了直流磁控溅射圆平面靶系统的磁场分布和荷电粒子分布,对不同磁场强度和阴极电压条件下的荷电粒子分布进行了模拟分析,通过比较靶面离子流密度分布曲线发现:...
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64. 浅谈真空镀铝纸产生的经济效益刊名： 真空发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 近3～5年来,随着科技的发展和人们生活水平的提高,越来越注重资源的保护,要求绿色生产、绿色消费.真空镀铝纸主要用于烟、酒、食品、日用品包装.本文对真空镀铝纸的概念、优点、应用的领域及产生的经...
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65. 纳米管道中离子淌度的研究刊名： 真空发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 针对纳米管道内离子淌度的运动变化,我们提出用CCD图像设备测量其速度的方法.纳米管道的主要特征就是德拜层的出现,由于德拜层内的离子具有特殊分布结构,导致离子淌度随德拜长度的变化而改变.本文测...
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66. 人工干预二次形核研究刊名： 真空发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 采用直流热阴极PCVD技术,在CH4-H2气氛常规制备微米晶金刚石膜的参数条件下,通过人工干预实现二次形核,制备纳米晶金刚石膜.金刚石膜周期性生长过程分为沉积阶段和干预阶段,沉积阶段时间为2...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 本文综述了介孔材料的制备方法,重点介绍了以介孔材料为模板或为载体制备碳纳米管的方法,总结了催化剂、反应温度和时间等因素对制备碳纳米管的影响.介绍了碳纳米管在介孔中的生长机理.最后探讨了该研究...
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68. 第十八讲真空蒸发镀膜刊名： 真空发表期刊： 2013年3期页码:摘要：
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69. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2013年3期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 离子镀功能厚镀膜主要用于提高工件耐磨性和耐蚀性,膜层厚度40μm以上.离子镀铬合金厚镀膜代替电镀硬铬工艺研发,已取得满意成果,可以投入工业生产,可以向社会提供技术及专用设备.
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71. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要：
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72. 高分子涂层制备技术研究进展刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 高分子涂层具有阻隔、耐腐蚀、耐摩擦、防潮湿和绝缘等优点,广泛应用于航空航天、机械等领域.本文综述了高分子涂层的制备,发现其制备方法具有多样性,但多在大气环境中进行,存在高温分解、涂层内应力大...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 提出了一种新型楔形膜在真空中的制作方法,可以替代白光干涉位移传感器中的关键元件.该方法采用两层复制技术,用有机材料SU8胶作为楔形膜中间的材料.同时,搭建了白光干涉位移传感器系统,对制作的楔...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 本文采用能量过滤磁控溅射技术(Energy Filter Direct Magnetron Sputtering,EFDMS),通过改变沉积温度在玻璃衬底上制备了一系列TiN薄膜.利用XRD...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 通过改变磁控溅射过程中氩气与氮气(Ar/N2)的分压比,制备了多种不同厚度的Si90Al10Nx薄膜样品,并采用透射率轮廓法对样品在热处理前后的光学性能(包括折射率和消光系数)进行了测量和分...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 在真空滤油机研发过程中,对其真空获得设备前置涡旋真空泵的研究是一个重要的方面.涡旋真空泵在运行过程中,动、静涡旋盘之间间隙的存在导致了气体泄漏损耗,该因素会影响涡旋真空泵的极限真空度及其工作...
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77. 多级爪型干式真空泵原理分析刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 多级爪型干式真空泵的结构对于其材料消耗、体积、能耗等性能有着非常重要的作用.本文介绍了北京朗禾科技的最新型结构——螺旋反爪结构,就其原理和国际上最经典的两种结构:螺旋型(德国)和反爪型(英国...
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78. 滑阀机构运动分析及动平衡计算刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 由于解析法进行机构运动分析时,需要对位移关系式二次求导,求解过程复杂而又抽象,为此,本文着重介绍了一种新的方法避开复杂的二次求导,即根据速度多边形、加速度多边形直接列出速度、加速度的函数关系...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 本文通过大量的调研工作并根据真空系统设计原理和设计流程,建立了真空系统设计软件开发的过程模型,采用Visual Basic 6.0与Access数据库构建了真空系统设计应用软件.软件主要由启...
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80. 高速蒸汽非平衡凝结流动的研究进展刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 针对高速蒸汽非平衡凝结流动的研究进展及现状,从实验研究、理论研究和数值模拟等方面给予了介绍.对实验研究进展以及凝结理论中成核理论和液滴生长理论的研究进展、应用情况做了概述；着重介绍了数值模拟...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 在实际工程应用中,除了需要知道真空材料的总放气率之外,往往还关心的是材料放出的某种单一气体的放气率.为此,本文提出了基于分压力测量的真空材料放气率测试方法,通过采用四极质谱计测量小孔两端的分...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 本工作研制了一台采用流量计测量复合分子泵抽速的装置.本装置由测试台车、机柜、计算机自动控制和数据采集处理系统三部分组成.选用3个高精度流量计,满量程分别为1000 sccm、100 sccm...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 在某大型航天器的调试试验中,需使用电容薄膜规(以下简称薄膜规)进行密封舱内真空度测量,结果发现薄膜规测量数据出现了较大的偏差.本文即对这一问题进行原因分析,提出在真空环境下,薄膜本底偏移量是...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 本文对ZSN-800AG2电子束蒸发镀膜机的控制系统进行了设计,重点对应用iFix组态软件实现工艺过程用户可编程序化的自动控制方法设计以及数据存储和趋势曲线显示等做了设计分析,完成了整机的工...
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85. 纳米管道中离子分布模型的研究刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 基于纳米管道内离子浓度与电势变化的规律,针对泊松-玻尔兹曼模型的几种改进方法进行比较说明,并提出使用的限制条件.通过对理论的研究分析,泊松-玻尔兹曼的分析解很难获得,而仿真的数值解却容易求得...
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86. 低压压印制备硅点阵结构的工艺研究刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 高密度、图形规则的硅点阵结构由于其独特的光电性能具有广泛的应用前景.本文介绍了一种以低压压印结合反应离子刻蚀制备硅点阵的方法,即利用PDMS模板通过压印复制获得PMMA掩模结构,用反应离子刻...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 采用Cu(NO3)2、吡啶与5-磺基水杨酸反应制得了具有一维链状结构的铜络合物单晶{[Cu(HSSA)(py)3]·H2O}n(H3SSA=5-磺基水杨酸,py=吡啶).采用X-射线衍射(X...
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88. 平板等离子体紫外灯研究刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 在本文中,运用ITO玻璃和多孔氧化铝设计了一种平板等离子体紫外灯,最大辐射功率为230 mW.通过实验方法,研究并讨论了放电气体压强和放电气体组成对平板等离子体紫外灯紫外光辐射效率的影响.通...
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89. 光学加工中真空夹具设计及分析刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 为了在光学加工中快速、可靠地装夹光学元件,设计了真空夹具,对该真空夹具引起光学元件变形量进行了分析.首先,根据光学加工对夹具的要求,应用手动静压快速夹头以及传统真空吸盘结构,设计了真空夹具；...
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刊名： 真空发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 对草海北片区真空垃圾收集系统的中央收集站、收集管网及附属设施等进行了相关规划研究,研究结果表明,草海北片区引入真空垃圾收集系统符合草海片区定位,技术上是可行的.
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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