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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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1. 反应磁控溅射的进展刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 反应磁控溅射被广泛应用于制备化合物薄膜.本文分析了反应磁控溅射中迟滞效应、靶中毒与打火现象,讨论了提高反应磁控溅射沉积速率、抑制靶面打火与保持溅射过程稳定性的途径.在阐述了近年来反应磁控溅射...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 电容薄膜式绝对压力变送器从70年代末发展至今,以其优良的性能,逐渐成为低真空测量的主要仪表.随着工艺、技术的不断发展,在原有产品的基础上进一步开发出带恒温系统产品,使仪表的性能更趋完善.为了...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 采用由金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)引出的强束流脉冲钨离子对H13钢进行了离子注入表面改性研究.注入剂量为3×1017 cm-2,引出电压为48 kV,平均束流为15 μA*cm-2.利...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 本文介绍了等离子增强磁控溅射沉积技术.有关技术背景、技术发展、技术应用都作了论述.对技术
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 本文对镀有非对称折射率高低交替膜系的玻璃的颜色特性进行了研究.比较了不同的膜系结构形式,通过改变每层膜的厚度,可得到的不同的色品坐标.发现镀在玻璃上的第一层膜为高折射率材料所得到的玻面颜色好...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 详细讨论一种蒸汽喷射泵的故障诊断专家系统,利用这一专家系统可以判断出故障的种类和原因,并给出解决方案.故障诊断部分包括推理、判断和自学习功能.本系统对蒸汽喷射泵进行在线监测,可极大地提高设备...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 合肥国家同步辐射实验室(NSRL)二期工程建造六套新的前端现已顺利安装完成,经过改进后其功能比前期的前端更加优良.本文围绕如何达到前端所起的作用,系统的介绍了前端的设计要点及其调试安装.
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 本文在介绍SiO2+ITO导电玻璃连续式生产线的系统结构的基础上,给出了该生产线基于PC机的的计算机监控网络系统.该系统为设备提供者、企业管理者、现场操作者提供了一个协调工作的平台.
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 选取不含H2的SiCl4/O2混合气体作为反应源气体,并利用普通的PECVD技术来实现低温沉积Si基微米厚度的SiO2薄膜,测试并分析薄膜的红外吸收谱以及工艺参数对沉积过程的影响.
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10. 环境扫描电子显微镜的关键技术刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 环境扫描电子显微镜在气体压力高达6600 Pa,温度高达1500℃,具有任何气体种类的多气环境里,都可提供高分辨率的二次电子成像.如此优良性能的获得,取决于两项新技术:一是将柱形电子导管的真...
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11. 真空粉末绝热容器检漏方法之探讨刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 以我国批量生产真空粉末绝热容器的实际情况为例,并通过数据计算分析,认为对真空粉末绝热容器可以用静态升压法考核夹层总气载,再结合分子筛的吸附作用来满足容器使用寿命的要求.目前,这种方法广泛地运...
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12. 真空条件下减少制革污染的实验研究刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 为了解决制革中的污染问题,在真空条件下,对制革重点污染工序--脱毛、铬鞣以及废液循环使用进行了实验研究.结果表明,脱毛、铬鞣化工材料用量可减少20%,废液排放总量可减少40%～50%,取得显...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 文章分析了影响提高罗茨真空泵最大允许压差因素,提出了解决方法.介绍了带溢流阀罗茨泵的特点和溢流阀压差的试验方法,明确提出应对带溢流阀罗茨泵考核溢流阀压差.
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14. 第十讲:真空密封刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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