基于膜系设计控制薄膜残余应力的研究

• 作者: 傅志伟 夏志林 李展望 薛亦渝 郭培涛 黄才华
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 光学薄膜 残余热应力 膜系设计 有限元模拟
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|O484
• 字数: 3160字
• 语种: 中文

摘要

残余应力大的薄膜,容易产生脱膜现象,使得薄膜失去所需功能.在激光薄膜领域,残余应力也是薄膜激光损伤阈值难以提高的原因之一.基于热收缩效应模型和弹性力学原理,从薄膜膜系着手提出了控制薄膜残余热应力的膜系设计原则,将该原则的评价函数用于薄膜膜系设计中,采用优化方法可以设计出残余热应力可接受的薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏志林	武汉理工大学材料科学与工程学院	29	159	7.0	12.0
2	黄才华	武汉理工大学材料科学与工程学院	14	136	6.0	11.0
3	薛亦渝	武汉理工大学材料科学与工程学院	48	532	13.0	21.0
4	郭培涛	武汉理工大学材料科学与工程学院	20	74	5.0	8.0
5	李展望	武汉理工大学材料科学与工程学院	7	22	3.0	4.0
6	傅志伟	武汉理工大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0