在柔性基底上沉积金属薄膜厚度的在线测量

• 作者: 张志 曹源
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性基底 卷绕真空镀膜 在线方阻 膜厚测量
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 机械制造与研究
• 页码范围: 86-88
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444|TP216
• 字数: 2447字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5276.2007.05.034

摘要

在柔性基底金属薄膜的各项参数中,镀层的厚度是最重要的参量.但由于直接测量膜厚非常困难而且成本极高,所以常用的方法是通过测量方阻来间接反映膜厚.介绍了在线方阻测量的原理,并对其国内外发展现状予以综述,提出了一套在线方阻测量的方法,确定了在线方阻测量的结构,最后给出了确定金属薄膜在线方阻值的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志		4	22	3.0	4.0
2	曹源		1	2	1.0	1.0