光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程解读

• 作者: 杨照金 王雷 许荣国 黎高平
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 检定规程 光学薄膜 厚度测量 折射率测量
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 标准园地
• 页码范围: 517-519
• 页数: 3页
• 分类号: TN741
• 字数: 2194字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2007.04.030

摘要

简要介绍光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程的构成,被检测量仪器的技术指标、主要检定参数和检定方法等.该规程适用于光谱椭偏法测量光学薄膜折射率和厚度的仪器,在从事光学薄膜研究、生产和使用的单位具有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨照金		34	237	8.0	14.0
2	王雷		10	101	6.0	10.0
3	黎高平		24	154	7.0	11.0
4	许荣国		6	21	4.0	4.0