Al掺杂的ZnO薄膜的XPS谱和光学特性研究

• 作者: 冯世娟 常仁杰 方亮 李丽 李秋俊 陈希明
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: AZO薄膜 XPS谱 光学性质
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 39-43,47
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 3440字
• 语种: 中文

摘要

采用直流反应磁控溅射法在玻璃基底上用Zn(99.99%)掺A(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AzO)薄膜.利用X射线光电子能谱仪和紫外,可见光分光光度计分别对制备的AzO薄膜进行成分、元素的价态分析和光学性质的研究.其实验结果表明,Zn元素以氧化态的形式存在.Al元素以氧化态和单质的形式存在,O元素主要以晶格氧和吸附氧的形式存在.AzO薄膜的光学参数受退火温度的影响较大.AzO薄膜在可见光区域内透射率的平均值为85%,并且随着退火温度的升高,AzO薄膜在可见光区域内的透射率稍微增大;薄膜的紫外吸收边向短波方向移动;薄膜的光学带隙从3.83 eV增大到3.88 eV;并且消光系数在紫外区域随着波长的增大而急剧下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈希明	重庆邮电大学光电工程学院	34	142	6.0	11.0
2	冯世娟	重庆邮电大学光电工程学院	26	115	8.0	9.0
3	李丽	重庆邮电大学光电工程学院	34	83	6.0	8.0
4	常仁杰	郑州铁路职业技术学院信息系	8	20	3.0	4.0
5	方亮	重庆大学应用物理系	62	513	12.0	18.0
6	李秋俊	重庆邮电大学光电工程学院	26	219	9.0	14.0