金属W薄膜晶体取向与表面形貌

• 作者: 贾德强
• 来源期刊: 机械研究与应用
• 关键词: 晶体取向 表面形貌 薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与分析
• 页码范围: 41-42,45
• 页数: 3页
• 分类号: TG146.4|TG115.22
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4414.2007.04.020

摘要

对采用磁控溅射法制备金属W薄膜,研究了不同厚度W薄膜退火晶体取向和表面结构的动态演变过程.结果表明:在较薄的膜中,表面能最低的晶面(110)处于支配地位,导致(110)择优取向增强;薄膜表面结构颗粒尺寸增大.当薄膜超过临界厚度,应变能开始起主导作用,薄膜(110)择优取向程度随厚度的增加而下降,表面结构颗粒减小.薄膜晶体取向和表面结构都存在厚度尺寸效应,这依赖于表面能和应变能的动态平衡过程.薄膜表面形貌和晶体结构之间存在对应关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾德强		8	23	3.0	4.0