微米级集成电路用化学合成球形硅微粉开发项目通过鉴定

• 来源期刊: 无机硅化合物（天津）
• 学科: 工学
• 关键词: 化学合成法 硅微粉 微米级 鉴定会 球形 开发 路用 集成
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 56
• 页数: 1页
• 分类号: TQ225.41

摘要

由江苏省科技厅组织专家在南京召开了由连云港东海硅微粉有限公司承担的江苏省科技招标项目“微米级集成电路用化学合成球形硅微粉开发”项目验收及成果鉴定会。与会专家在听取了项目承担单位的实施情况汇报，经质询答疑，研究讨论，一致认为：该项目完成了化学合成法制备球形硅微粉工艺研究和相关关键设备研制，其技术和工艺设备在国内居领先地位，达到国际先进水平。