液相基底温度对Al薄膜中带状有序结构的影响

• 作者: 叶高翔 吴一琦 方轶君
• 来源期刊: 浙江大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 基底温度 硅油 Al薄膜 内应力
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 409-413
• 页数: 5页
• 分类号: O469
• 字数: 3925字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1008-9497.2007.04.012

摘要

研究了液相基底温度对铝(Al)薄膜中具有准周期特征的带状有序结构的影响.实验发现,随着温度的升高,组成带状有序结构的矩形畴块平均长度先增大,随后减小.当沉积条件发生改变时,铝薄膜可呈现近似透明或金属色泽,并且在此两类薄膜中均可观察到带状有序结构.研究表明,硅油基底的物理特性随温度的变化对薄膜中内应力分布及微观结构有着重要的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶高翔	浙江大学物理系	36	160	7.0	9.0
2	吴一琦	温州大学物理与电子信息学院	6	18	3.0	4.0
3	方轶君	浙江大学物理系	2	2	1.0	1.0