硅压力传感器可靠性强化试验研究

• 作者: 吴虹 李延夫
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅压力传感器 可靠性可靠性强化试验 研究
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 288-290
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2954字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.091

摘要

为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李延夫		2	12	1.0	2.0
2	吴虹		5	20	3.0	4.0