Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性

• 作者: 佟洪波 巴德纯 闻立时
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝 中频反应溅射 掺杂 光致发光
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 508-510
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|O484
• 字数: 1513字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.06.011

摘要

研究了Mn或Cu掺杂的非晶AlN薄膜在室温下的发光性质.Cu或Mn掺杂的非晶AlN薄膜是在玻璃衬底上采用中频反应磁控溅射制备的.X射线衍射(XRD)结果表明薄膜为非晶.由X射线能谱(EDX)检测分析结果得到薄膜中Cu和Al含量比例为1∶10,Mn和Al含量比例为1∶15.光致发光光谱表明Cu掺杂的AlN薄膜能发出强烈的蓝光(～430 nm)而Mn掺杂则表现为红光(～650 nm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
2	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
3	佟洪波	东北大学机械工程与自动化学院	10	75	6.0	8.0