射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜的拉曼光谱分析

• 作者: 刘亚丽 吴奎 胡毅
• 来源期刊: 郧阳师范高等专科学校学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2薄膜 磁控溅射 拉曼光谱 晶体结构 生长方式
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 数理科学与化学研究
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|O483
• 字数: 1916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-6072.2007.06.012

摘要

采用射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜,并应用显微拉曼光谱和电子显微镜对薄膜进行微区光分析.通过拉曼光谱研究,一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构,另一方面对薄膜的生长方式提供了线索.薄膜聚集点和平常点上有统一的相结构,电子显微镜观察结果显示薄膜致密均匀.