一种适用于互补双极技术的双层多晶硅自对准PNP晶体管的设计

• 作者: 曾鹏 李荣强 谢正旺
• 来源期刊: 重庆邮电大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 双层多晶硅 自对准 PNP 互补双极
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 通信与电子
• 页码范围: 669-673
• 页数: 5页
• 分类号: TN710.2
• 字数: 3285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-825X.2007.06.006

摘要

通过仿真与实验设计出了一种高性能的双层多晶硅自对准PNP晶体管工艺流程,分析了关键工艺技术,器件性能达到fT=8.5 GHz,β=60,BVCEO=8 V.该工艺与已有的双层多晶硅自对准NPN晶体管工艺相兼容,可用于制造高性能的互补双极电路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李荣强		10	52	3.0	7.0
3	曾鹏		2	4	1.0	2.0
7	谢正旺		2	1	1.0	1.0