陶瓷-玻璃-单晶硅的阳极键合工艺性研究

• 作者: 刘翠荣 阴旭
• 来源期刊: 机械工程与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极键合 射频磁控溅射 钠硼硅酸盐玻璃薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 74-76
• 页数: 3页
• 分类号: TB332
• 字数: 2098字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6413.2007.04.028

摘要

首先采用射频磁控溅射法在ZrO2陶瓷基体上沉积一层钠硼硅酸盐玻璃,并通过该钠硼硅酸盐玻璃薄膜作为中间层利用阳极键合方法实现了ZrO2陶瓷与单晶硅的间接连接.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘翠荣		68	266	8.0	14.0
2	阴旭		19	8	2.0	2.0