基于厚膜混合集成的硅微机械加速度传感器

• 作者: 王存超 王寿荣 苏岩
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 厚膜技术 硅微机械 加速度传感器 单片
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-2,13
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2205字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2007.01.001

摘要

采用厚膜混合集成技术实现了硅微机械加速度传感器工程样机.介绍了厚膜混合集成电路工艺的原理和特点、传感器的结构和工作原理,研究了信号提取和处理方法,优化了反馈控制校正电路网络,利用电容转换专用集成电路,通过厚膜技术组装了工程样机.实验结果表明:该单片加速度传感器具有较高的精度和零偏稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王寿荣	东南大学仪器科学与工程系	94	1158	19.0	28.0
2	苏岩	东南大学仪器科学与工程系	15	171	8.0	12.0
3	王存超	东南大学仪器科学与工程系	7	111	5.0	7.0