在-55～125℃范围内误差小于±0.3℃硅基温度传感器

• 作者: 冯晓星 封君 张兴 王新安 葛彬杰
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 温度传感器 误差自校准 基区电阻消除 CMOS衬底三极管
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1972-1978
• 页数: 7页
• 分类号: TN432
• 字数: 4745字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.12.023

摘要

提出了基于寄生参数自校正的高精度温度传感器,并给出了基于CSMC 0.5μm混合信号CMOS工艺的仿真结果.利用CMOS工艺衬底pnp三极管的发射区-基区pn结作为温度传感单元,提出了易于开关-电容电路实现的寄生电阻校正方法,消除了基区电阻非线性对温度测量的影响,提高了测量精度.电路仿真结果显示,系统测温误差在-55℃～125℃范围内仅为±0.3℃.