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Ce-Mn合金低温抛光CVD金刚石厚膜
Ce-Mn合金低温抛光CVD金刚石厚膜
作者:
史晓宇
孙玉静
王树彬
田莳
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
CVD金刚石膜
Ce-Mn合金
抛光
表面粗糙度
摘要:
研究开发了一种低温、快速抛光化学气相沉积(CVD)金刚石厚膜的新技术,该技术是利用金刚石(C)和溶碳活性很高的稀土金属铈(Ce)和过渡金属锰(Mn)所熔炼出的Ce-Mn合金之间的热化学反应,在一定的工艺条件下对金刚石厚膜进行有效的抛光.详细讨论了合金组成对抛光速率和表面粗糙度(Ra)的影响,并且用扫描电镜和拉曼光谱对抛光后的膜表面进行了表征.结果表明:Mn含量较低的合金从抛光率上和抛光效果上考虑都更有利于获得良好抛光的金刚石厚膜,Ce-3%Mn原子比组成的合金,在660℃、抛光2 h的实验条件下,使膜的粗糙度由10.8490 μm降低到3.6826 μm,抛光速率达到37.5 μm/h.适量Mn的加入在降低抛光温度的同时仍然可以保证良好的抛光效果,优化了热化学抛光的工艺,而且该抛光技术不会破坏金刚石厚膜质量.
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文献信息
篇名
Ce-Mn合金低温抛光CVD金刚石厚膜
来源期刊
稀有金属材料与工程
学科
物理学
关键词
CVD金刚石膜
Ce-Mn合金
抛光
表面粗糙度
年,卷(期)
2007,(z1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
892-895
页数
4页
分类号
O484
字数
2623字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1002-185x.2007.z1.252
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王树彬
北京航空航天大学材料科学与工程学院
18
160
7.0
12.0
2
田莳
北京航空航天大学材料科学与工程学院
28
415
11.0
20.0
3
孙玉静
北京航空航天大学材料科学与工程学院
12
57
4.0
7.0
4
史晓宇
北京航空航天大学材料科学与工程学院
1
5
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
二级参考文献
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共引文献
(0)
参考文献
(0)
节点文献
引证文献
(5)
同被引文献
(5)
二级引证文献
(10)
2007(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2008(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2009(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2010(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2011(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2013(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2015(2)
引证文献(1)
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2016(2)
引证文献(1)
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2017(1)
引证文献(0)
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2018(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2019(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
CVD金刚石膜
Ce-Mn合金
抛光
表面粗糙度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
稀有金属材料与工程
主办单位:
中国有色金属学会
中国材料研究学会
西北有色金属研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1002-185X
CN:
61-1154/TG
开本:
大16开
出版地:
西安市51号信箱
邮发代号:
52-172
创刊时间:
1970
语种:
chi
出版文献量(篇)
12492
总下载数(次)
15
总被引数(次)
83844
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