Sol-gel法制备ZnO:Cd薄膜及性能研究

• 作者: 邓宏 陈瀚
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO:Cd薄膜 光致发光 Sol-gel法 旋涂
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 143-145,153
• 页数: 4页
• 分类号: O434
• 字数: 3223字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2007.08.037

摘要

采用Sol-gel法使用旋转涂覆技术在Si(100)基片上生长了ZnO:Cd薄膜.XRD结果表明:ZnO:Cd薄膜具有与ZnO一样的六角纤锌矿结构,随热处理温度的升高,(002)衍射峰强度逐增,FWHM减小,并沿c轴择优取向生长;透射光谱实验表明:以石英为基底,适度掺镉可降低薄膜的禁带宽度Eg,特别是在800℃、8%Cd条件下,Eg=2.80eV,与纯ZnO的禁带宽度3.30eV相比,明显降低了光学禁带;光致发光谱(PL)实验表明:在吸收边附近均有较强的紫外发射峰,且随热处理温度升高呈规律的变化;电阻率测定表明:掺镉使薄膜导电性增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓宏	电子科技大学微电子与固体电子学院	72	653	14.0	22.0
2	陈瀚	电子科技大学微电子与固体电子学院	8	9	2.0	2.0