一种掩模与硅片的底面自动对准方法

• 作者: 刘云 徐德 谭民
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 底面对准 Hough变换 聚类分析
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 1575-1579
• 页数: 5页
• 分类号: TN305|TN873
• 字数: 3125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.05.013

摘要

硅片对准标记中心位置的求解是掩模与硅片底面自动对准的重要环节.对于对称标记图像,提出了基于矩的中心位置求解方法;对于非对称标记图像,采用Hough变换和聚类分析的方法求解标记中心位置.在此基础上,提出了掩模与硅片底面自动对准的方法.仿真实验证明了该对准方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭民	中国科学院自动化研究所复杂系统与智能科学实验室	151	5065	33.0	67.0
2	刘云	中国科学院自动化研究所复杂系统与智能科学实验室	99	706	15.0	23.0
6	徐德	中国科学院自动化研究所复杂系统与智能科学实验室	76	1525	20.0	36.0