Al掺杂量对ZnO：Al薄膜微观结构和光电性能的影响

• 作者: 傅欣 徐迪 朱协彬 段学臣
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶凝胶 Al掺杂ZnO:Al 电阻率 带隙
• 年，卷（期）: cldbnmyxclzj_2008,（1）
• 页码范围: 63-65
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4

摘要

采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备出不同Al掺杂量的ZnO：Al（ZAO）薄膜。系统研究了AI掺杂量对薄膜微结构和光电性能的影响。结果表明：溶胶-凝胶法制备的薄膜具有完好C轴择优取向，在可见光区的透射率均大于85％；随着Al掺杂量的增加，薄膜的平均颗粒尺寸减小，表面电阻率先降低后升高，薄膜的光学带隙宽变宽。在5％H2＋95%N2气氛退火可显著降低薄膜电阻率，掺Al量为2％的薄膜具有最低电阻率5．5×10^-3Ω·cm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱协彬	中南大学材料科学与工程学院	14	167	6.0	12.0
2	段学臣	中南大学材料科学与工程学院	50	595	14.0	23.0
3	徐迪	中南大学材料科学与工程学院	5	36	3.0	5.0
4	傅欣	中南大学材料科学与工程学院	4	7	2.0	2.0