RF溅射稀土(La,Nd)掺杂ZnO薄膜的结构

• 作者: 文军 潘峰 陈长乐
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 稀土掺杂 ZnO薄膜 X射线衍射分析 原子力显微镜 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 172-174,179
• 页数: 4页
• 分类号: O484|TN304
• 字数: 3341字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2008.04.003

摘要

通过射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了未掺杂和镧、钕掺杂ZnO薄膜.XRD分析表明,ZnO薄膜具有c轴择优生长,镧、钕掺杂ZnO薄膜为自由生长的纳米多晶薄膜.用AFM观测薄膜的表面形貌,镧、钕掺杂ZnO薄膜表面形貌粗糙.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长乐	西北工业大学应用物理系	144	734	13.0	20.0
2	潘峰	西北工业大学应用物理系	11	35	4.0	5.0
4	文军	西北工业大学应用物理系	39	136	7.0	9.0