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摘要:
采用直流磁控溅射方法在Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备RuO2/Pt复合电极,研究在复合电极上沉积的BST薄膜的微观结构及其对BST梯度薄膜电学性能的影响.实验结果表明:沉积在RuO2/Pt复合电极上的BST梯度薄膜在测试频率为100 kHz时,介电常数为324.8,介电损耗为0.018 9;在75 kV/cm外电场下漏电流密度为1.29×10-6 A/cm2;在Pt电极和RuO2/Pt复合电极上分别制备的BST薄膜的介电损耗和漏电流基本上相似,没有太大的区别.但在375 kV/cm外电场下RuO2/Pt复合电极上沉积的BST的介电调谐率为31.2%,比直接沉积在Pt上的BST的介电调谐率高7.4%,显示出较好的C-V特性.
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文献信息
篇名 RuO2/Pt复合电极对BST梯度薄膜介电性能的影响
来源期刊 湖北大学学报(自然科学版) 学科 工学
关键词 复合电极 BST薄膜 磁控溅射 介电性 漏电流密度
年,卷(期) 2008,(4) 所属期刊栏目 化学与材料科学
研究方向 页码范围 381-383,387
页数 4页 分类号 TN304
字数 2040字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-2375.2008.04.016
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王今朝 湖北大学材料科学与工程学院 7 1 1.0 1.0
2 项超 湖北大学材料科学与工程学院 1 1 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
复合电极
BST薄膜
磁控溅射
介电性
漏电流密度
研究起点
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
湖北大学学报(自然科学版)
双月刊
1000-2375
42-1212/N
大16开
武汉市武昌区友谊大道368号
38-45
1975
chi
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