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RuO2/Pt复合电极对BST梯度薄膜介电性能的影响
RuO2/Pt复合电极对BST梯度薄膜介电性能的影响
作者:
王今朝
项超
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
复合电极
BST薄膜
磁控溅射
介电性
漏电流密度
摘要:
采用直流磁控溅射方法在Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备RuO2/Pt复合电极,研究在复合电极上沉积的BST薄膜的微观结构及其对BST梯度薄膜电学性能的影响.实验结果表明:沉积在RuO2/Pt复合电极上的BST梯度薄膜在测试频率为100 kHz时,介电常数为324.8,介电损耗为0.018 9;在75 kV/cm外电场下漏电流密度为1.29×10-6 A/cm2;在Pt电极和RuO2/Pt复合电极上分别制备的BST薄膜的介电损耗和漏电流基本上相似,没有太大的区别.但在375 kV/cm外电场下RuO2/Pt复合电极上沉积的BST的介电调谐率为31.2%,比直接沉积在Pt上的BST的介电调谐率高7.4%,显示出较好的C-V特性.
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内容分析
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关键词热度
相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
RuO2/Pt复合电极对BST梯度薄膜介电性能的影响
来源期刊
湖北大学学报(自然科学版)
学科
工学
关键词
复合电极
BST薄膜
磁控溅射
介电性
漏电流密度
年,卷(期)
2008,(4)
所属期刊栏目
化学与材料科学
研究方向
页码范围
381-383,387
页数
4页
分类号
TN304
字数
2040字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-2375.2008.04.016
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王今朝
湖北大学材料科学与工程学院
7
1
1.0
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2
项超
湖北大学材料科学与工程学院
1
1
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研究主题发展历程
节点文献
复合电极
BST薄膜
磁控溅射
介电性
漏电流密度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
湖北大学学报(自然科学版)
主办单位:
湖北大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1000-2375
CN:
42-1212/N
开本:
大16开
出版地:
武汉市武昌区友谊大道368号
邮发代号:
38-45
创刊时间:
1975
语种:
chi
出版文献量(篇)
2481
总下载数(次)
3
总被引数(次)
13467
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