单晶硅(111)晶面纳米压痕过程分子动力学仿真及实验

• 作者: 李德刚 梁迎春 白清顺 董申
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 化学
• 关键词: 分子动力学仿真 压痕 平均势能 径向分布函数 折合模量
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 242-248
• 页数: 7页
• 分类号: O614.242
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.04.002

摘要

为了研究脆性单晶材料单晶硅(111)晶面微观机械特征,应用分子动力学,对压痕过程进行仿真分析.本文应用平均势能和径向分布函数相结合方法对压痕过程进行考察.仿真结果表明,工件在压头附近的晶格结构发生变化.在仿真过程中通过确定工件内部的分界线来表明位错传播运动;在压痕结束后工件自身弛豫过程变形区域弹性恢复大约27%.应用 Hysitron 公司的 Triboindenter 纳米原位压痕仪进行压痕实验,并把实验得到的材料压痕折合模量与分子动力学仿真计算结果进行比较,结果表明仿真的误差率小于31%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁迎春	哈尔滨工业大学机电工程学院	145	2341	26.0	39.0
2	董申	哈尔滨工业大学机电工程学院	232	4378	35.0	50.0
3	白清顺	哈尔滨工业大学机电工程学院	47	488	15.0	20.0
4	李德刚	哈尔滨工业大学机电工程学院	5	67	3.0	5.0