考虑空位缺陷的单晶硅纳米级磨削过程的分子动力学仿真

• 作者: 张亮 郭东明 郭晓光 金洙吉
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 空位缺陷 纳米级磨削 分子动力学仿真 单晶硅
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1284-1288,1295
• 页数: 6页
• 分类号: TG580.1
• 字数: 4101字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2013.10.002

摘要

基于第一性原理,构建并验证了考虑空位缺陷的单晶硅纳米级磨削过程的分子动力学仿真模型.通过磨削过程的分子动力学仿真计算,从原子空间角度分析了单晶硅纳米级磨削过程中原子瞬间位置变化、温度波动、作用力大小和势能波动等变化,解释了纳米级超精密磨削过程中材料的去除过程,描述了切屑形成过程和加工表面形成机理.分析了空位缺陷对加工过程和表面质量的影响,并对空位在仿真过程中的作用进行了研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭东明	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	273	4547	35.0	54.0
2	金洙吉	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	105	1334	18.0	32.0
3	张亮	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	18	111	6.0	9.0
4	郭晓光	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	25	224	9.0	14.0