RF MEMS开关的发展现状

• 作者: 严春早 叶刘晓 许高斌
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机电系统 开关 驱动机制 可靠性 发展趋势
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 647-653
• 页数: 7页
• 分类号: TH703|TM504
• 字数: 5542字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.11.006

摘要

RF MEMS开关是其各种组件、系统级应用中最基本的器件之一,具有低损耗、低功耗、线性化好、尺寸小及易集成等特点.对各种开关驱动机制的特点进行了比较,指出具体驱动机制的选取应符合实际应用的需求;在和传统pin开关、FET开关相比较的基础上,总结了RF MEMS开关的优缺点,概述了其目前的应用领域以及面临的主要问题;最后介绍了目前国内外RF MEMS开关研究状况.通过对国内外一些经典RF MEMS开关范例的简述,展望了RF MEMS开关未来的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶刘晓	合肥工业大学应用物理系	2	28	2.0	2.0
2	许高斌	合肥工业大学应用物理系	22	140	7.0	11.0
3	严春早	合肥工业大学应用物理系	1	23	1.0	1.0