新型RF MEMS开关的动态表征

• 作者: 丁桂甫 刘蕾 张永华 蔡炳初 赖宗声
• 来源期刊: 华东师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 射频开关 双稳态 动态测量
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学 电子学
• 页码范围: 118-122,140
• 页数: 6页
• 分类号: TN61|TP271.+4
• 字数: 2977字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5641.2007.05.016

摘要

一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持"开"或"关"态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(DMEMS),对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动,开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20 μs.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赖宗声	华东师范大学微电子电路与系统研究所	136	779	13.0	18.0
2	蔡炳初	上海交通大学微纳科学技术研究院	49	769	15.0	26.0
3	丁桂甫	上海交通大学微纳科学技术研究院	60	503	12.0	19.0
4	刘蕾	华东师范大学微电子电路与系统研究所	16	38	4.0	5.0
5	张永华	华东师范大学微电子电路与系统研究所	15	58	5.0	7.0