红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究

• 作者: 何熙 方辉 罗仲梓 谷丹丹 陈松岩
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微互连柱 AZ5214E 反转 剥离
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 169-171
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1142字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2008.02.005

摘要

基于一般正胶光刻工艺的剥离工艺,所需胶膜的厚度要大大超过剥离薄膜的厚度,这样在剥离线宽小、厚度大的微腔结构探测器的金属互连柱图形时就会存在光刻分辨率低、剥离难的问题.本文重点研究了基于AZ5214E光刻胶图像反转性能的剥离工艺,对图像反转光刻所特有的反转烘、掩模曝光、泛曝光工艺条件进行了详细的对比实验.结果表明:当反转烘温度为96～98℃,第一次掩模曝光时间和泛曝光时间分别为8.1 s、8.4 s时,可以得到较好的光刻图形.通过电子束蒸发Ti,成功剥离出高2.40μm、面积3.0 μm×3.0 μm的Ti微互连柱.此工艺的优点在于分辨率高,胶膜与剥离薄膜的厚度比接近1时,也能剥离出所要图形,可以用于制备MEMS微腔器件中的微互连柱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗仲梓	厦门大学萨本栋微机电中心	15	225	7.0	15.0
2	陈松岩	厦门大学物理学系	68	248	8.0	12.0
3	方辉	厦门大学物理学系	3	1	1.0	1.0
4	谷丹丹	厦门大学萨本栋微机电中心	6	29	3.0	5.0
5	何熙	厦门大学物理学系	1	0	0.0	0.0