薄膜Se对薄膜Al电极的防护作用探讨

• 作者: 张方辉 李志贤 赵彦钊
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 电阻变化率 稳定性 Al薄膜 Al/Se薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 试验与技术
• 页码范围: 1271-1273,1277
• 页数: 4页
• 分类号: TB321
• 字数: 2087字
• 语种: 中文

摘要

本文在25 ℃、相对湿度50%的条件下,分别蒸镀了Al,Al/Se薄膜,研究了它们在空气中的导电性能,试验结果表明,只需50 s, Al薄膜的氧化反应已基本完成,其电阻率变化率为24.9%;大约需要2 min,Al/Se薄膜电阻变化率为4.5%,随后其电阻基本处于稳定状态.这主要是因为薄膜边沿和镀Se薄膜时形成的针孔的铝膜首先被氧化,使电阻增加.形成的Al2O3薄膜阻止了反应的继续进行,电阻不再变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张方辉	陕西科技大学电子与信息工程学院	150	773	13.0	20.0
2	赵彦钊	陕西科技大学材料科学与工程学院	43	194	7.0	13.0
3	李志贤	陕西科技大学材料科学与工程学院	5	14	2.0	3.0