多晶硅太阳电池 PECVD 氮化硅钝化工艺的研究

• 作者: 李军阳 禹庆荣 陈特超
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: PECVD 钝化 氮化硅 等离子体增强化学气相淀积 太阳电池 多晶硅
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 制造工艺与设备
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TK573|TN806.9
• 字数: 2268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.10.008

摘要

介绍等离子体化学气相淀积(PECVD)制备减反射钝化膜.将PECVD设备运用于太阳电池生产线上,发现通过PECVD设备可以对多晶硅太阳电池有很好的钝化效果.分析PECVD对多晶硅太阳电池钝化机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军阳	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	16	1.0	2.0
2	陈特超	中国电子科技集团公司第四十八研究所	21	38	3.0	5.0
3	禹庆荣	中国电子科技集团公司第四十八研究所	12	43	4.0	6.0