EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量

• 作者: 卢文壮 左敦稳 林欢庆 钟磊
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积法 衬底温度 热电偶
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 机械制造与研究
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TF068.21
• 字数: 1757字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5276.2008.05.010

摘要

为了完善金刚石膜生长工艺,对衬底温度进行测量和控制,采用基于C8051 HY20单片机的热电偶多区域测量系统来收集EACVD设备的衬底温度.对测温的机械机构、电路方案及软件流程进行了详细的设计.经过验证该系统测温准确,效果良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	钟磊	南京航空航天大学机电学院	7	126	4.0	7.0
4	林欢庆	南京航空航天大学机电学院	4	6	2.0	2.0