利用P-MBE制备高质量MgxZn1-xO的结构和光学特性

• 作者: 吕有明 姚斌 宿世臣 张振中 李炳辉 申德振 范希武
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌镁 等离子体辅助分子束外延 光致发光
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 309-312
• 页数: 4页
• 分类号: O482.31
• 字数: 1737字
• 语种: 中文

摘要

利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)的方法,在c平面的蓝宝石衬底上制备了高质量的MgxZn1-xO合金薄膜.通过改变Mg源的温度,得到了不同Mg组份的MgxZn1-xO合金薄膜;通过引入ZnO的低温缓冲层,有效地提高了MgxZn1-xO合金薄膜的结晶质量.随着Mg 组份的增加,MgxZn1-xO 的X射线衍射的(002)衍射峰逐渐向大角度方向移动.对样品进行光致发光(PL)谱的测量,在室温下观察到了较强的紫外发光.随Mg浓度的增加,紫外发光峰向高能侧移动,并且发光峰逐渐展宽.通过对x=0.15的样品进行变温光谱的测量研究了紫外发光峰起因,得到了MgxZn1-xO的发光是来自于自由激子的发光.自由激子束缚能为54 meV.