纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性

• 作者: 李凯 王汉斌 甘孔银 胡和平 金晓
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 高平均功率自由电子激光 纳米金刚石膜 微波等离子体化学气相沉积方法 二次电子发射特性
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 1744-1748
• 页数: 5页
• 分类号: O46|O539
• 字数: 3414字
• 语种: 中文

摘要

简要介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在硅基底上制备纳米金刚石薄膜的过程,并对制备的薄膜进行了表面分析.在此基础上设计出了用来测定反射型二次电子发射系数的实验装置,得出了几种薄膜在不同入射能量下的发射系数,取得了二次发射系数为15的满意结果,表明纳米金刚石薄膜作为二次电子发射材料具有很好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡和平	中国工程物理研究院应用电子学研究所	8	64	4.0	8.0
2	金晓	中国工程物理研究院应用电子学研究所	59	316	10.0	14.0
3	李凯	中国工程物理研究院应用电子学研究所	14	36	3.0	5.0
4	甘孔银	中国工程物理研究院应用电子学研究所	14	59	5.0	6.0
5	王汉斌	中国工程物理研究院应用电子学研究所	15	43	5.0	6.0