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MEMS陀螺振动特性试验技术
MEMS陀螺振动特性试验技术
作者:
崔健
迟晓珠
闫桂珍
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微机械陀螺
振动特性
频响函数
摘要:
对于MEMS振动陀螺来说,找到一个快速有效的方法来评估其结构参数是非常重要的,比如谐振频率和阻尼系数,应根据微机械陀螺设计和制作的不同阶段,从测试精度、测试速度和试验方便程度等方面考虑,采用不同的方法进行动态试验.本文给出了一种能够判断MEMS器件振动特性的可靠的电测试系统,并通过分析和实验比较了几种微机械陀螺振动系统传递函数的快速测定方法,分析讨论了微机械陀螺振动系统测试方法和数据处理等问题.
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文献信息
篇名
MEMS陀螺振动特性试验技术
来源期刊
传感技术学报
学科
航空航天
关键词
微机械陀螺
振动特性
频响函数
年,卷(期)
2008,(4)
所属期刊栏目
MEMS专集
研究方向
页码范围
559-562
页数
4页
分类号
V241.5
字数
3036字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.006
五维指标
传播情况
被引次数趋势
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微机械陀螺
振动特性
频响函数
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
主办单位:
东南大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
开本:
大16开
出版地:
南京市四牌楼2号东南大学
邮发代号:
创刊时间:
1988
语种:
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
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