直线电机气浮精密定位平台设计与控制

• 作者: 刘强 张从鹏
• 来源期刊: 北京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 直线电机 H型运动平台 同步控制 气浮导轨 预加载
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 224-228
• 页数: 5页
• 分类号: TH133.35|TP273
• 字数: 3983字
• 语种: 中文

摘要

为了掌握光刻机工件台的设计和控制技术,建立了双边直线电机驱动的H型气浮精密定位平台,对该精密定位系统的气浮导轨设计方法、双边直线电机同步运动控制等关键技术进行了研究.利用有限元计算方法分析设计了气浮导轨,采用预加载技术提高气浮导轨的承载能力和刚度.实验结果表明:气浮导轨具有较高的承载能力和刚度,X和Y导轨的竖直方向静刚度为276.9 N/μm和333.3 N/μm.H型工作台的双边直线电机需要高精度的同步运动控制,传统的串、并联同步控制不能满足精度要求,设计了基于同步速度偏差的改进型并联结构同步控制器,采用模糊控制实现PID参数的自适应整定.实验表明:采用改进的控制器将速度同步精度提高了3倍多,适合于具有强机械耦合的多电机同步运动控制.H直线电机气浮定位平台具有承载能力强(40 kg)、精度高(<2μm)的优点,可用于精密工程领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘强	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	161	2234	23.0	39.0
2	张从鹏	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	3	11	1.0	3.0