直接感光法制备锆钛酸铅镧薄膜图形及其性能

• 作者: 张卫华 盛淑月 石春梅 袁媛 赵高扬
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 锆钛酸铅镧薄膜 溶胶凝胶 微细图形 感光性
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1189-1193
• 页数: 5页
• 分类号: TN104.2
• 字数: 2721字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.06.033

摘要

采用化学修饰溶胶凝胶工艺,以PVP为薄膜开裂抑制剂,以苯酰丙酮为化学修饰剂,利用其与金属盐形成的配位螫合物结构,合成了具有紫外光感应特性的锆钛酸铅镧(Pb0.91La0.09(Zr0.65Ti0.35)O3,PLZT)前驱溶胶;对单次提拉得到的凝胶薄膜进行直接感光法图形制备;通过后续热处理,在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上得到了具有钙钛矿结构的PLZT薄膜图形,其最终热处理后的膜厚约为260nm,剩余极化强度约为6.7μC/cm2,矫顽场强约为77kV/cm,相对介电常数约为356,介电损耗约为0.02,漏电流密度小于10-2μA/cm2,极化疲劳特性可达107以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张卫华	西安理工大学材料科学与工程学院	27	162	8.0	11.0
2	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
3	袁媛	西安理工大学材料科学与工程学院	2	6	2.0	2.0
4	石春梅	西安理工大学材料科学与工程学院	2	6	2.0	2.0
5	盛淑月	西安理工大学材料科学与工程学院	2	7	2.0	2.0