罗升横河直线电机DD马达平台在晶圆激光切割机的应用

• 作者: 赵琦
• 来源期刊: 伺服控制
• 学科: 工学
• 关键词: 横河DD马达 晶圆切割 横河直线电机 高精度 重复定位精度 激光切割
• 年，卷（期）: znjqr_2008,（3）
• 页码范围: 106-107
• 页数: 2页
• 分类号: TG485

摘要

文章介绍了晶圆激光切割工艺,晶圆切割设备设备组成以及横河DD马达、横河直线电机组成的直线平台特点以及在激光切割设备中的应用。提出了直接驱动伺服、直线电机在该设备使用的优势,直接驱动伺服的使用在未来必将是一个发展趋势,在高精密运动控制设备上的使用会越来越广泛。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵琦	天津罗升企业有限公司伺服产品处	13	1	1.0	1.0