基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究

• 作者: 李伟华 李蓓佳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS设计 系统级模拟 薄膜 受力分析 等效电路宏模型
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 607-610
• 页数: 4页
• 分类号: TN402
• 字数: 2893字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.019

摘要

介绍一种MEMS系统级模拟方法.该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型.利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模拟结果进行对比,验证了该模拟方法应用于二维情况分析的有效性.