中医用高精度阵列脉搏传感器的设计

• 作者: 淮永进 韩郑生
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 阵列传感器,压力传感器,MOSFET栅 线性度
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 701-705
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.04.017

摘要

提出了一种可以把脉搏压力信号直接转换为电流信号输出的高精度阵列脉搏传感器.采用牺牲层法加工晶体管的栅极与CMOS工艺具有良好的兼容性.对传感器栅电容和输出电流进行测试,在1.5～9.5kPa的动态范围,传感器电容的灵敏度约为0.5fF/hPa;传感器输出电流与压力呈现较好的线性和指数特性.分析结果表明MOS栅面积的改变对压力-电流响应曲线的线性度有一定影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩郑生	中国科学院微电子研究所	122	412	10.0	12.0
2	淮永进	中国科学院微电子研究所	4	37	4.0	4.0