非平衡磁控溅射系统磁场的半解析法

• 作者: 张海波 赵玉清 韩亮
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非平衡磁控溅射 半解析法 标量磁位 磁场强度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 996-1000
• 页数: 5页
• 分类号: O53
• 字数: 3060字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.02.058

摘要

应用电磁场分析中的一种新方法--半解析法,对一种典型的非平衡磁控溅射系统进行了磁场分析. 结果表明,应用半解析法计算,求解变量少、方法简单,而且计算精度高,该方法相对于等效源法有严密的理论依据,标量位函数的表达式为级数解析式,有利于场强的计算,更有利于优化设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海波	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	25	90	5.0	6.0
2	韩亮	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	20	58	3.0	7.0
3	赵玉清	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	17	63	4.0	7.0