微电子制造技术及其发展

• 作者: 李拂晓 纪军 陈银龙
• 来源期刊: 国防制造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 徽电子 制造技术 硅 砷化镓 氮化镓
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 39-42
• 分类号: TN1
• 字数: 3202字
• 语种: 中文

摘要

本文通过介绍微电子器件制造的主要流程,概括了主要的微电子制造工艺技术以及这些技术的特点.在分析以往发展规律的基础上.结合当今微电子技术的现状,阐述了未来微电子发展的三个主要表现形式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李拂晓	中国电子科技集团公司第五十五研究所	7	18	3.0	4.0
2	纪军	中国电子科技集团公司第五十五研究所	1	6	1.0	1.0
3	陈银龙	中国电子科技集团公司第五十五研究所	2	7	1.0	2.0