倒装再分布技术及应用

• 作者: 丁荣峥 任春岭 高娜燕
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 倒装芯片 再分布技术 UBM 凸点制备技术 底部填充
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 封装、组装与测试
• 页码范围: 1-4,10
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 3382字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2009.12.001

摘要

随着半导体技术的发展,封装工艺与圆片工艺的联系越来越密切,特别是倒装技术的发展及广泛应用.由CSP到WL-CSP,再到TSV技术,封装技术的发展越来越迅速.倒装技术是发展的关键技术,它包括再分布技术、凸点底层金属(UBM)技术、凸点制备技术、倒扣焊接技术和底部填充技术等.文章介绍了传统芯片通过再分布设计及工艺解决实现倒装工艺,为倒装技术以及新技术的开发和应用提供了良好的途径和广阔的空间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁荣峥		12	100	5.0	9.0
2	任春岭		5	57	3.0	5.0
3	高娜燕		3	19	2.0	3.0