锆钛酸钡薄膜材料制备研究进展

• 作者: 符春林 蔡苇 陈华强
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 锆钛酸钡 制备 综述 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 69-73
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.756
• 字数: 2839字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.10.021

摘要

综述了磁控溅射、脉冲激光沉积、sol-gel法制备锆钛酸钡(简称BZT)薄膜的研究现状,及其制备工艺参数与显微结构、介电性能的关系,提出了制备BZT薄膜材料需要解决的工艺和理论问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡苇	重庆科技学院冶金与材料工程学院	80	471	12.0	17.0
2	符春林	重庆科技学院冶金与材料工程学院	77	351	10.0	15.0
3	陈华强	重庆科技学院冶金与材料工程学院	4	12	1.0	3.0