直流磁控溅射制备纳米TiO2薄膜研究

• 作者: 程春晓 陈林峰
• 来源期刊: 洛阳理工学院学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2薄膜 直流磁控溅射 网格 晶粒尺寸
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5043.2009.01.002

摘要

使用直流磁控溅射装置,通过在溅射过程中加入不同的金属网格,250℃条件下在玻璃衬底上制备了不同晶粒尺寸的TiO2薄膜.利用场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射谱(XRD)对薄膜的表面形貌结构和进行了分析.研究结果表明:在磁控溅射过程中金属网格的引入能有效减小TiO2薄膜的晶粒尺寸,并且金属网格的网孔尺寸越小,晶粒尺寸越小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程春晓	洛阳理工学院数理部	8	10	2.0	3.0
2	陈林峰	郑州大学物理工程学院	8	28	2.0	5.0