磁控溅射制备TiO2薄膜及其光学特性研究

• 作者: 周继承 赵保星 陈宇
• 来源期刊: 应用科技
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2薄膜 直流反应磁控溅射 衬底温度 光学特性 包络线法
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与化学
• 页码范围: 61-64
• 分类号: O484
• 字数: 2604字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-671X.2010.06.016

摘要

采用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备TiO2薄膜.用紫外-可见光分光光度计和AFM分别表征了薄膜的透射率和表面形貌,用包络线法详细研究了不同衬底温度下TiO2薄膜的光学特性.结果表明:薄膜在可见光波段有很高的透明度,且随着衬底温度的升高,薄膜的透射率略有增加,薄膜的折射率和吸收系数增大,薄膜的光学带隙减小;同时,薄膜表面粗糙度减小,薄膜变得平整.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周继承	中南大学物理科学与技术学院	96	780	15.0	21.0
2	陈宇	中南大学物理科学与技术学院	20	144	6.0	11.0
3	赵保星	中南大学物理科学与技术学院	7	54	5.0	7.0