反应气体对纳米金刚石薄膜的显微力学特性影响

• 作者: 丰杰 李建国 梅军 胡东平
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米金刚石薄膜 反应气体 纳米压人 显微力学
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 13-17
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3189字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2009.01.003

摘要

本文采用电子辅助增强热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,CH4/H2、CH4/H2/Ar气体和不同比例的四种气氛制备了纳米金刚石薄膜,利用Raman光谱和原子力显微镜(AFM)表征了薄膜的结构和显微形貌,采用纳米压入测试技术测量了纳米金刚石薄膜的显微力学特性,获得了加载、卸载曲线,以及硬度和模量随压入深度的变化曲线.结果表明:薄膜具有明显的纳米结构特点,随着CH4、Ar浓度的增加,晶粒更加细化,表面粗糙度更低.无Ar气氛制备的纳米金刚石薄膜的弹性恢复较好,硬度和模量较高,CH4和Ar含量越低的制备气氛,其硬度和模量相对较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丰杰	中南工业大学材料科学与工程学院	23	116	7.0	9.0
3	胡东平	中国工程物理研究院总体工程研究所	15	79	6.0	8.0
4	李建国	中国工程物理研究院总体工程研究所	26	107	7.0	9.0
5	梅军	中国工程物理研究院总体工程研究所	30	240	9.0	14.0